作者:PA直营时间:2026-02-04浏览:来源:PA直营官网
国家知识产权局信息显示,常州元晶摩尔微电子有限公司申请一项名为“一种具备泵、阀的晶圆MEMS压力控制装置”的专利,公开号CN121408197A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种具备泵、阀的晶圆MEMS压力控制装置,涉及微机电系统(MEMS)及流体控制技术领域,包括单向止回阀、MEMS气泵及MEMS流体控制器,单向止回阀的顶部连接外部应用装置,单向止回阀的底部与MEMS气泵相连接,与MEMS气泵共同构成内部腔体,气泵的底部连接MEMS流体控制器。本发明采用一体化工艺,不需组装,工艺一致性好,且采用低成本制备方式,批量生产成本更低,有利于应用和推广,采用的PDMS预处理的共价键合以及Au-Sn的共晶键合均采用了低温工艺,成本低、可靠性高,通过结构设计,比泵+止回阀或泵+压力控制装置提供更好的工作能力。
天眼查资料显示,常州元晶摩尔微电子有限公司,成立于2017年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1100万人民币。通过天眼查大数据分析,常州元晶摩尔微电子有限公司共对外投资了1家企业,财产线条,此外企业还拥有行政许可11个。
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